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ALD成果展示

创建时间：2022-02-25 16:26:16

1.各材料平均粗糙度<300pm，台阶覆盖能力侧壁厚度>顶部厚度的90%，8英寸内膜厚不均匀<5%.

粗糙度.jpg

TiO2台阶覆盖.jpg

TiO2均匀性.jpg

友情链接: 厦门大学; 嘉庚创新实验室; 厦门大学实验室与设备管理处; 厦门大学石墨烯工程与产业研究院; 厦门大学化学化工学院; 固体表面物理化学国家重点实验室（厦门大学）

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