陕西博纳自动化工程有限公司
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2021-10-13
陕西
陕西博纳自动化工程有限公司
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1-机架 2-旋转架 3-联轴器 4-电机 5-桶 6-喷淋装置 7-热氮吹干装置 8-控制系统 9-除静电装置 10-水阻检测装置 11-排水装置
1、工作腔数量：2个； 2、适用规格：上腔室为6寸晶圆片，下腔室为4寸晶圆片； 3、工作转速：400-2000rpm; 4、氮气压力：0.2-0.3Mpa； 5、氮气耗量：100-140L/min； 6、去离子水压力：0.2-0.4Mpa; 7、去离子水耗量：5-10L/min; 8、配置电阻率测试仪； 9、配置静电消除装置；
| 仪器名称 | SRD甩干机 |
| 规格型号 | BNLS300-2-IV |
| 仪器放置位置 | 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层-微纳制造中心-清洗间 |
| 仪器功能介绍 | 甩干机主要用于对硅片、蓝宝石片、氮化镓、砷化镓等半导体晶圆进行全自动高速清洗、离心脱水、氮气吹扫烘干、除静电等 |
| 样品要求 | 1、6寸、4寸完整片； |
| 仪器说明 | 1、工作腔数量：2个； 2、适用规格：上腔室为6寸晶圆片，下腔室为4寸晶圆片； 3、工作转速：400-2000rpm; 4、氮气压力：0.2-0.3Mpa； 5、氮气耗量：100-140L/min； 6、去离子水压力：0.2-0.4Mpa; 7、去离子水耗量：5-10L/min; 8、配置电阻率测试仪； 9、配置静电消除装置； |
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09:00-12:00;14:00-18:00
0.5 小时
168 小时
0.5 小时
未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
5 次/天
1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
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| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 链接 | 操作 |
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