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RCA清洗机

RCA清洗机

  • 仪器分类: 微纳加工平台
  • 仪器状态:
  • 所属单位: 嘉庚创新实验室
  • 仪器生产商: 华林科纳半导体设备有限公司
  • 购置日期: 2021-12-07
  • 使用模式: 项目委托,按时预约
  • 规格型号: CSE-HLKN2011-YM1602
  • 放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139
仪器生产商

华林科纳半导体设备有限公司

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2021-12-07

仪器产地

江苏南通

仪器供应商

华林科纳半导体设备有限公司

购买经办人

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主要配件

主要由机架、槽体部分、废液回收单元、排风单元、电气控制单元以及水、气路控制系统等单元组成

主要参数

1、槽体可用于6寸、4寸晶圆清洗; 2、配置SC-1、SC-2、SC-3溶液槽,及相对应去离子水清洗槽; 3、加热温度范围:石英槽体(RT~150℃)

仪器介绍

仪器名称

RCA清洗机

规格型号CSE-HLKN2011-YM1602
仪器放置位置厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层-微纳制造中心-清洗间
仪器功能介绍该设备主要应用于MEMS领域中半导体材料RCA清洗工艺
样品要求1、样品尺寸6英寸及以下;
仪器说明

1设备壳体及骨架焊接符合标准 SUS304骨架、德国WPP

2配界面操作显示屏 Pro-face10英寸显示屏

3操作权限分级设置 分为操作员、管理员和工艺员

4工艺配方可储存 0-99recipe

5废液回收功能 配置废液回收桶

6设备安全门有互锁功能 实验室门开启会报警提示

7水槽有电阻率检测功能 配有水阻计

8槽体加热根据工艺可调 常温-150℃可调

9液位检测功能 配有低中高液位检测,防干烧

10槽内安装补水管路 可根据液位自动或手动补水

11药液循环 配置循环泵和过滤器

12药液选排放 一路直排一路回收

13配置温度传感器 过热可自动切断加热电源

14配置漏液传感器 漏液设备报警提示

15液位与加热互锁 低液位停止加热




主要仪器管理员

**** 请登录后查看管理员信息

仪器管理员

****

工作时间

09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段

0.5 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

0.5 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 12小时; 资深资格用户: 4小时

最远提前预约时间

未授权: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
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