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磁控溅射

磁控溅射

  • 仪器分类: Micro LED技术创新平台
  • 仪器状态: (陈超)
  • 所属单位: 嘉庚创新实验室
  • 仪器生产商: Denton vacuum
  • 购置日期: 2021-11-26
  • 使用模式: 项目委托,按时预约
  • 规格型号: Discovery 635
  • 放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳加工实验室1
仪器生产商

Denton vacuum

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2021-11-26

仪器产地

美国

仪器供应商

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购买经办人

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主要配件

1.真空系统由Loadlock腔和Process腔两部分组成,Loadlock腔采用分子泵+干泵的组合,Process腔采用低温泵+干泵的组合,极限真空8E-8Torr;2.溅射系统:溅射靶枪有4组,配备一组射频电源(600W)、一组直流电源(1200W)、一组脉冲直流电源(1000W);3.气体供应系统:配备三路气体(氧气、氩气、氮气),各自由100sccm MFC进行控制,具备气压调节功能,维持压力恒定;4.样品系统:样品架最高转速为20rpm,最高温度800摄氏度,同时具备偏压清洗功能(与靶枪共用一组射频电源)。

主要参数

8寸范围内厚度均匀性≤5% 6寸范围内厚度均匀性≤3% 批次间厚度重复性≤3% 150nm厚度ITO方块电阻≤13±2Ω/□,550nm处透射率≥90% 氮化硅500nm处折射率2.03±0.03 氧化硅500nm处折射率1.45±0.03

仪器介绍

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主要仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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工作时间

09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段

0.5 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

0.5 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 0.5小时

最远提前预约时间

未授权: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点

预约保护时间

15 分钟

失约保护时间

30 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

120 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
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