宁波润华全芯微电子设备有限公司
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2021-08-30
中国
深圳华普通用科技有限公司
宋维英
全自动匀胶显影系统整机配备有2个匀胶单元、2个显影单元、2个热板、2个冷板、1个AD增粘单元、1个温湿度控制单元、1个机械对中单元。
1、适用于最大6英寸晶圆、并向下兼容4英寸的晶圆； 2、匀胶单元主轴电机转速100-5000RPM,转速精度±1RPM，最大加速度30000RPM； 3、共有2个匀胶单元，单个匀胶单元配备胶路为1路胶泵（带0.1um过滤器、最大光刻胶粘度100CP)和1路针筒供胶系统（最大光刻胶粘度500CP），胶泵配置： 最大输出量： 10ml/1冲程，最大流体粘度500cp，输出量重复精度：±1%，胶嘴具有自动清洗功能，具有胶嘴保湿功能，更换光刻胶后有自动排出气泡功能； 4、匀胶单元旋涂均一性：±2%，4寸硅片，基准胶厚为1.5um（AZ5214E)； 5、AD增粘单元（HMDS）配备的热板温度范围为50-180℃，最小调整量0.1℃，温度均匀性±1.5℃，工艺腔体内，真空环境、热板加热并气化喷洒HMDS 流量：10±2ml/min； 6、显影单元主轴电机转速100-5000RPM,转速精度±1RPM，最大加速度30000RPM； 7、共有2个显影单元，单个显影单元配备胶路为2路显影液（配备温控系统和0.05um过滤器）和1路去离子水，显影流量：30~300ml/min手动可调，流量精度：±2ml@100ml，配备柱状喷嘴，显影方式为Puddle； 8、配备2块热盘，配置顶针和气帘保护温度范围为50-250℃，温度精度为≤0.1℃，温度均匀性: (50℃~120℃ ) ±0.7℃ ，(120.1℃~180℃ ) ±1.5℃，(180.1℃~250℃ ) ±2℃；
1、使用自带光刻胶，需额外配备足量的光刻胶用于管路置换和调试；
2、该设备不支持碎片加工，只支持4/6寸标准晶圆进行工艺试验；
3、预约设备前，需提前与管理员进行联系确认实验条件和时间；
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09:00-12:00;14:00-18:00
0.5 小时
168 小时
0.5 小时
未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
30 分钟
30 分钟
30 秒
5 秒
120 秒
5 次/天
1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
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| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 链接 | 操作 |
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