仪器生产商

Nanoscribe GmbH&CO.KG

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2022-08-01

仪器产地

德国

仪器供应商

广东省中科进出口有限公司

购买经办人

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主要配件

63倍油浸式显微镜物镜； 25倍油浸式显微镜物镜； 20倍显微镜物镜； 10倍显微镜物镜；

主要参数

Photonic Professional GT2系统能够加工各种光敏材料，包括而不限于：SU-8，Ormocere，PEG-DA，AZ系列，As2S3，IP-L780，IP-G780等。PPGT2系统能够兼容STL图形文件格式。PPGT2系统具有很高的加工精度：横向最小三维线宽≤200nm；横向三维最佳分辨率≤700nm以下；垂直方向最佳分辨率≤1000nm；扫描振镜模式有效最高写入速度100mm/s；加工样品的最大高度不低于7mm；具有自动侦测光刻胶与衬底界面的功能。

仪器介绍

仪器名称	双光子微纳3D打印系统 3D Micro/Nano Lithography System
规格型号	Photonic Professional GT2
仪器放置位置	能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验2
仪器功能介绍	1、三维立体亚微米器件制作； 2、光学波导制作； 3、光纤光栅制作； 4、微透镜阵列制作；
性能指标	1、飞秒激光器：脉宽≤120fs；重频80MHz±1MHz；平均输出功率＞120mW; 2、4种物镜：63X物镜，NA1.4，WD 360μm（DILL模式）&190μm（油镜模式）； 25X物镜，NA0.8，WD 380μm； 20X物镜，NA0.5，WD 2100μm； 10X物镜，NA0.3，WD 700μm； 3、压电陶瓷三维扫描平台(X-Y-Z)，移动分辨率1nm，移动重复精度误差≤10nm； 4、XY长行程工件台，加工面积为100*100mm2； 5、具有很高的加工精度：横向最小三维线宽≤200nm；横向三维最佳分辨率≤700nm以下；垂直方向最佳分辨率≤1000nm；
样品要求	1、样品大小厚度需与样品架相匹配；（如，63X：25 × 25 × 0.7 mm3，Ø 30 mm ×170 µm；25X：25 × 25 × 0.7 mm3；20X：2寸/4寸 0.35 – 0.55 mm ；10X：25 × 25 × 0.725 mm3，2寸 0.35 – 0.55 mm） 2、样品的折射率与光刻胶的折射率有明显差异； 3、光刻胶：包括而不限于：SU-8，Ormocere，PEG-DA，AZ系列，As2S3，IP-L780，IP-G780等；现有光刻胶IP-Dip2（63X，折射率1.526 @ 589 nm, 20°C），IP-L（63X，折射率1.485 @ 589 nm, 20°C），IP-S（10X，折射率1.487 @ 589 nm, 20 °C），IP-Q（10X，折射率1.487 @ 589 nm, 20° C），IP-Visio（25X，折射率1.486 @ 589 nm, 20°C）； 4、适用透明、不透明材料；
仪器说明	1、原位CCD观察； 2、振镜扫描模式和压电台扫描模式； 3、版图格式STL，版图需提前切分处理OK；

1、系统兼容STL图形文件格式，预约前需要提前准备好文件；仪器连接电脑仅可做版图的修改；

主要仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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工作时间

09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段

0.5 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

0.5 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 24小时；普通资格用户: 2小时；资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间

未授权: 168 小时 0 点；普通: 168 小时 0 点；资深: 168 小时 0 点

预约保护时间

15 分钟

失约保护时间

15 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

120 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	需审核
普通资格	需审核	需审核
资深资格	需审核	需审核

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

待审核

预约有效

预约完成

预约失约

预约被占用

序号	标题	链接	操作
1	双光子微纳3D打印系统	暂无	详情

双光子微纳3D打印系统

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