Fischione
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2021-07-06
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上海微纳国际贸易有限公司
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1. 样品夹 2. 样品转移台 3. 装样台
离子束尺寸：500 eV时直径为1至3μm 离子束能量：50 eV至2000 eV 最大离子束电流： 150 pA 离子束聚焦：0至6 kV 冷台控温范围：-170℃~室温
冷台控温范围：-170℃~室温
仪器名称 | 微束定点离子减薄系统 |
| 规格型号 | NanoMill 1040 |
| 仪器放置位置 | 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1162-4实验室 |
| 仪器功能介绍 | 主要用于制备超薄，高质量的TEM样品，适用于FIB制备TEM样品/离子减薄样品的后续精修，可有效去除非晶层且不产生再沉积，能实现准定点位置或在一个选定的区域进行精细修复。 |
| 性能指标 | 1.离子束能量：50 eV至2000 eV 2. 最大离子束电流： 150 pA 3. 离子束尺寸：500 eV时直径为1至3μm 4. 离子束聚焦：0至6 kV 5. 冷台控温范围：-170℃~室温 |
| 样品要求 | 1. FIB样品：一般要求FIB样品长度＞10μm，最好以侧焊方式固定，样品内侧镂空以防止反沉积 2.离子减薄样品：需预先制备符合TEM观测要求的薄区，再在光镜下标定需要精修的区域 3.不接磁性样品，如含有Fe, Co, Ni, Mn等磁性物质； 4.不接受放射性、腐蚀性、有毒、易挥发、易升华（单质硫、碘等）、易燃易爆、不符合生物安全标准、电子束辐照后不稳定等类似样品； |
| 仪器说明 | 1. 具有超低能量的惰性气体Ar离子源； 2. 具备离子成像功能，能够高精度定位去除非晶层； |
样品要求
1. FIB样品：一般要求FIB样品长度＞10μm，最好以侧焊方式固定，样品内侧镂空以防止反沉积
2.离子减薄样品：需预先制备符合TEM观测要求的薄区，再在光镜下标定需要精修的区域
3.不接磁性样品，如含有Fe, Co, Ni, Mn等磁性物质；
4.不接受放射性、腐蚀性、有毒、易挥发、易升华（单质硫、碘等）、易燃易爆、不符合生物安全标准、电子束辐照后不稳定等类似样品；
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09:00-12:00;14:00-18:00
0.5 小时
8 小时
0.5 小时
未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
30 分钟
30 分钟
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