青岛天仁微纳科技有限责任公司
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2022-10-09
青岛
青岛天仁微纳科技有限责任公司
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全自动纳米压印机，工作模具张力控制单元，离线工作模具复制单元；chuck兼容2/4/6/8寸晶圆；
1、适用于最大8英寸晶圆、并向下兼容6英寸、4英寸、2英寸的晶圆，以及方片；2、样品厚度0-0.8mm；3、光源：365nm LED紫外光固化系统；4、压印结构精度50nm；深宽比7.5:1；压印残余层厚度＜20nm；可用于斜齿光栅结构压印；对位精度：上下层对位标记几何中心偏差不超过±6um；5、自动压印、自动曝光固化、自动脱模；6、兼容基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等；兼容原始模具材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等；7、载台最高温度70℃；
| 仪器名称 | 紫外纳米压印机 Nano-im#### lithography machine |
| 规格型号 | GL8 CLIV Gen2 |
| 仪器放置位置 | 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验5 |
| 仪器功能介绍 | 1、微电子制作，MEMS/NEMS/传感器，微流体，光波管； 2、光学器件制作，虚拟现实和增强现实光波导（AR Waveguides）； 3、三维激光微纳米加工； |
| 性能指标 | 1、光源：365nm LED紫外光固化系统； 2、压印结构精度50nm；深宽比7.5:1；压印残余层厚度＜20nm； 3、对位精度：上下层对位标记几何中心偏差不超过±6um； 4、加工面积：200mm*200mm； |
| 样品要求 | 1、样品尺寸：2/4/6/8寸晶圆及方片； 2、载台最高温度70℃； 3、基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等； 4、原始模具材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等； |
| 仪器说明 | 1、自动压印、自动曝光固化、自动脱模； 2、兼容工作模具张力控制单元、离线工作模具复制单元； 3、载台最高温度70℃； |
1、需自带模板、PET膜；2、方片基底只能手动取放片；
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09:00-12:00;14:00-18:00
0.5 小时
168 小时
0.5 小时
未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
15 分钟
15 分钟
30 秒
5 秒
120 秒
5 次/天
1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
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| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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