NanoBeam Limited
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2022-01-24
英国
NanoBeam Limited
王雅思
4寸、6寸、8寸晶圆载台，1*1cm、1.5*1.5cm、2*2cm方片载台
1、加速电压：80kV； 2、曝光束流：0.6-70nA； 3、写场尺寸：100um-1000um边长的正方形区域连续可调； 4、写场拼接精度：200μ主场优于15nm，500μm主场优于20nm，800μm主场优于30nm； 5、套刻精度：200μ主场优于15nm，500μm主场优于20nm，800μm主场优于30nm； 6、最大样品尺寸：4寸、6寸、8寸晶圆或0.5*0.5cm、1*1cm、2*2cm方片，厚度小于2mm。
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09:00-12:00;14:00-18:00
1 小时
4 小时
1 小时
未授权用户: 168小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
15 分钟
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30 秒
5 秒
30 秒
4 次/天
1440 分钟
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