超快激光三维微纳刻蚀平台 首页 / 仪器预览
超快激光三维微纳刻蚀平台

超快激光三维微纳刻蚀平台

  • 仪器分类: 微纳加工平台
  • 仪器状态:
  • 所属单位: 嘉庚创新实验室
  • 仪器生产商: Altechna R&D立陶宛
  • 购置日期: 2022-08-30
  • 使用模式: 项目委托,按时预约
  • 规格型号: FEMTOLAB
  • 放置房间号: 1161
仪器生产商

Altechna R&D立陶宛

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2022-08-30

仪器产地

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仪器供应商

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购买经办人

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主要配件

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主要参数

(1)激光器 ① 波长:1030nm; ② 平均功率:≥10 W@1H; ③ 重复频率:1 Hz–1 MHz可调; ④ 脉冲宽度:290 fs–10 ps可调 ⑤ 最大脉冲能量:0.4 mJ@1Hz; ⑥ 偏振性:线偏振; ⑦ 冷却系统:封闭内循环水冷。 ⑧ 自动谐振发生器,输出波长:1H:1030nm,2H:515nm,3H:257nm;输入脉冲能量:20-1000μJ;脉冲持续时间:190-300fs;转换效率:>50%(2H),>25%(3H)。 (2)位移台 ① 三维移动范围:XYZ 200 mm ×200 mm × 60 mm ② 精度:XY accuracy ± 0.4 μm, Z accuracy ± 0.275 μm. ③ XYZ轴分辨率:1nm; ④ XY轴最大速度:>200mm/s; ⑤ 最大加速度:1G; ⑥ 最大负载:2kg; ⑦ 重复定位精度:±0.15um。

仪器介绍

该仪器设备将主要应用于蓝宝石基高反射率大带宽Bragg体光栅制备;基于多光子聚合技术实现微米级蓝宝石布拉格体光栅高精度、高自由度加工;超精细微纳米结构的表面加工等。

主要仪器管理员

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仪器管理员

****

工作时间

08:00-21:00

最小可预约时间段

0.5 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

0.5 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 2小时; 资深资格用户: 0.5小时

最远提前预约时间

未授权: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点

预约保护时间

30 分钟

失约保护时间

30 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

120 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
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