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三离子束切割机

三离子束切割机

  • 仪器分类: 电子显微平台
  • 仪器状态:
  • 所属单位: 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商: 徕卡显微系统
  • 购置日期: 2019-10-23
  • 使用模式: 按时预约
  • 规格型号: Lecia EM TIC 3X
  • 放置房间号: 能源材料大楼1号楼1162-4
仪器生产商

徕卡显微系统

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2019-10-23

仪器产地

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仪器供应商

精艺兴业科技有限公司

购买经办人

曹凌云

主要配件

1. 液氮系统 2. 冷冻样品台 3. 旋转样品台

主要参数

1. 离子束电压:1 keV~10 keV; 2. 离子束电流:0.5~4.5mA; 3. 离子束密度:10 mA/cm2; 4. 切割速率(边缘50μm处): 5μm/ min (100% Si,10 keV,3.5 mA); 5. 离子束半高宽:0.8 mm (10 keV),2.5 mm (2 keV); 6. 无油真空,真空度<1x10-5 mbar; 7. 冷冻台温度设定范围:+20℃~ -180℃; 8. 样品处理过程可通过体视镜实时监控;

仪器介绍

仪器名称三离子束切割机
规格型号Leica EM TIC 3X
仪器放置位置厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1161实验室
仪器功能介绍三离子束切割机通过氩离子束的加工可实现样品无应力截面切割以及表面抛光,用于制备扫描电子显微镜观察(SEM)、微观结构分析 (EDS、WDS、EBSD、SIMS) 和AFM样品。
性能指标

(1)离子束电压:1 keV~10 keV;

(2)离子束电流:0.5~4.5mA;

(3)离子束密度:10 mA/cm2;

(4)切割速率(边缘50μm处): 5μm/ min (100% Si,10 keV,3.5 mA);

(5)离子束半高宽:0.8 mm (10 keV),2.5 mm (2 keV);

(6)无油真空,真空度<1x10-5 mbar;

(7)冷冻台温度设定范围:+20℃~ -180℃;

(8)样品处理过程可通过体视镜实时监控;  

样品要求

(1)样品上下表面平行;

(2)截面切割:样品最大尺寸25 mm × 20 mm × 5 mm(厚度);

(3)平面抛光:样品最大直径38mm,厚度12mm,样品表面光洁平整;

(4)可对任何材料进行加工,应用范围广,如果样品为粉末样品,可先通过粘结剂或者环氧树脂将其制备成块状样品;

仪器说明

(1)配有冷冻样品台和液氮冷却系统,最低可在-180℃的条件下对生物材料、高分子薄膜材料进行截面切割;

(2)配有旋转样品台,表面抛光最大区域直径可达25mm并可在0°~48°内调节离子抛光角度;


样品要求:

1. 样品上下表面平行;

2. 截面切割:样品最大尺寸25 mm × 20 mm × 5 mm(厚度);

3. 平面抛光:样品最大直径38mm,厚度12mm,样品表面光洁平整;

4. 可对任何材料进行加工,应用范围广,如果样品为粉末样品,可先通过粘结剂或者环氧树脂将其制备成块状样品;

5. 如果是薄膜、电极材料等软性样品,请自备硅片(10mm x 10mm即可)。

主要仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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工作时间

09:00-12:00;14:00-17:30

最小可预约时间段

0.5 小时

最大可预约时间段

96 小时

日历最小单位

0.25 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 12小时; 普通资格用户: 4小时; 资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间

未授权: 192 小时 0 点; 普通: 192 小时 0 点; 资深: 192 小时 0 点

预约保护时间

30 分钟

失约保护时间

30 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

200 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
1 三离子束切割机基本原理与操作指南 1 2023-03-20 15:53:15 文件下载
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