聚焦离子束成像与加工系统 首页 / 仪器预览
聚焦离子束成像与加工系统

聚焦离子束成像与加工系统

  • 仪器分类: 无噪声实验室
  • 仪器状态:
  • 所属单位: 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商: 卡尔·蔡司股份公司
  • 购置日期: 2019-12-26
  • 使用模式: 按时预约
  • 规格型号: Orion Nanofab
  • 放置房间号: 能源材料大楼1号楼负1楼FIB实验室
仪器生产商

卡尔·蔡司股份公司

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2019-12-26

仪器产地

美国

仪器供应商

卡尔蔡司(上海)管理有限公司

购买经办人

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主要配件

He、Ne、Ga三束 GIS Flood Gun

主要参数

He 离子精修:3~10 nm Ne 离子大面积精修:10~50 nm Ga 离子大面积加工:30 nm He Ion Microscope:~0.5 nm 10~30 kV 0.1~ 100 pA 可进行离子束光刻

仪器介绍

10 nm以下甚至5 nm 以下的结构加工与制备,如二维/三维等离激元光学纳米结构在拉曼、红外以及太赫兹谱学等应用;如二维/三维纳米结构制备在微纳电子学乃至分子电子学等应用;如石墨烯、过渡金属二硫族化物、氮化物等单层或多层二维材料的纳米材料的加工、结构精修和功能化;如微纳流控芯片、纳米孔制备用于DNA测序在化学生物学等应用。


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工作时间

09:00-12:00;14:00-17:30

最小可预约时间段

0.5 小时

最大可预约时间段

24 小时

日历最小单位

0.5 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 0小时; 普通资格用户: 0小时; 资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间

未授权: 7 天 21 点; 普通: 7 天 21 点; 资深: 7 天 21 点

预约保护时间

30 分钟

失约保护时间

30 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

240 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
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