电子束蒸发薄膜沉积系统 首页 / 仪器预览
电子束蒸发薄膜沉积系统

电子束蒸发薄膜沉积系统

  • 仪器分类: 微纳加工平台
  • 仪器状态:
  • 所属单位: 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商: DE Technology Inc.
  • 购置日期: 2019-09-09
  • 使用模式: 按时预约
  • 规格型号: DE400
  • 放置房间号: 能源材料大楼一号楼洁净室实验1
仪器生产商

DE Technology Inc.

资产编号

----

资产负责人

----

购置日期

2019-09-09

仪器产地

----

仪器供应商

----

购买经办人

戴彬

主要配件

1.机台含一个自动送样室和一个薄膜沉积腔室; 2.薄膜沉积腔室配冷凝泵,500L/s抽速,腔体极限真空度≤5E-9 Torr; 3.送样室配分子泵,抽速400L/s,腔体极限真空度≤5E-8 Torr; 4.薄膜沉积腔室和送样室共用干泵,9.7L/s抽速; 5.高真空泵和腔体之间均配不锈钢启动插板阀,计算机控制开闭; 6.不锈钢气动初抽真空阀; 7.气动充气阀门,用于腔体充气,计算机控制,安全互锁; 8.皮拉尼探头,用于粗真空和前级粗抽; 9.真空开关; 10.宽量程真空探头; 11.超高真空直线坩埚导位电子束蒸发源,10KW 6KW; 12.6个15CC坩埚穴; 13.可编程束斑扫描控制器; 14.样品和坩埚均配气动挡板; 15.INFICON晶振膜厚仪。

主要参数

1. 设备适用于最大6寸,可兼容6寸以下包括碎片; 2. 适用于Lift-off工艺; 3. 常见金属材料,如Au、Ag、Cu、Pt、Ti、Al等皆可蒸镀; 4. 镀膜均一性≤3% 5. Recipe可设置镀膜速率和目标膜厚; 6. 机台配置6个15cc坩埚,一次可放置6种材料; 7. 配有晶振膜厚仪,镀膜速率和膜厚时时显示,镀膜速率显示精度0.1A/s,膜厚显示精度1A; 8. 配有扫描仪,可设置电子束扫描形状和频率等参数; 9. 基片可旋转,转速设置范围0-20rpm; 10. 腔体配自动进样室,进样室一次可放置6个6寸基片,成膜腔室一次成膜1片; 11. 进样室极限真空度≤5E-8 Torr,腔体极限真空度≤5E-9 Torr; 12. 基片从送样室进入镀膜室后,镀膜室恢复原高真空的时间少于5分钟。

仪器介绍

 

仪器名称
电子束蒸发薄膜沉积系统(EBES)
Electron Beam Evaporation System
规格型号
DE Technology DE400
仪器放置位置
厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层-微纳制造中心-实验室1
仪器功能介绍
电子束蒸镀主要用于金属材料的成膜, 金属材料如Au、Ag、Cu、Pt、Ti、Al等皆可蒸镀,适用于Life-off工艺。
性能指标

(1)设备适用于最大6寸,可兼容6寸以下包括碎片;

(2)镀膜均一性≤3%

(3)镀膜速率和厚度可设定,并时时显示镀膜速率精度0.1Å/s,膜厚精度1Å;

(4)配有6个坩埚槽,一次可放置6种蒸镀材料。

样品要求

(1)样品最大6寸,可兼容6寸以下及碎片;

(2)预约前需提前与管理员确认是否有相应蒸镀材料;

(3)非常用蒸镀材料需自带,且最好多准备一片样品用于recipe调试;

(4)制样时应提供详细的样品说明(包括衬底材质、尺寸、表面状况等)和制样要求(包括沉积膜种类、沉积速率、沉积厚度、膜层性能要求等)。


仪器说明

(1)设备配有自动进样室和工艺腔室,分别配有独立真空系统;(2)配有6个坩埚槽,一次可放置6种材料;

(3)配有高压电源和可编程束斑扫描器;
(4)基片可旋转,转速度0-20rpm;
(5)配有晶振仪,可时时监控膜厚和速率。

                                                                                                                                                        

 

如需培训请联系管理员

主要仪器管理员

**** 请登录后查看管理员信息

仪器管理员

****

仪器管理员

****

仪器管理员

****

仪器管理员

****

仪器管理员

****

工作时间

09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段

0.5 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

0.5 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 6小时; 普通资格用户: 0小时; 资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间

未授权: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点

预约保护时间

30 分钟

失约保护时间

60 分钟

断电延时时间

60 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

120 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
  • 待审核

  • 预约有效

  • 预约完成

  • 预约失约

  • 预约被占用

  • 序号 标题 链接 操作
    1 Cr、Ti、Ni、Ge、Au薄膜粗糙度<1nm 暂无 详情
    查看更多

    使用指南 more>>

    FAQmore>>

    用户评价

    用户评论

    暂无评论
    友情链接
    厦门大学
    嘉庚创新实验室
    厦门大学实验室与设备管理处
    厦门大学石墨烯工程与产业研究院
    厦门大学化学化工学院
    固体表面物理化学国家重点实验室(厦门大学)
    联系我们
    联系电话: 0592-2882511/0592-2882512
    电子邮箱: ikkem-emo@xmu.edu.cn
    联系地址: 厦门市翔安区翔安南路厦门大学翔安校区能源材料大楼
    意见建议
    提交
    意见收集邮箱:ikkemcfc_support@163.com
    返回顶部