电感耦合等离子刻蚀机 首页 / 仪器预览
电感耦合等离子刻蚀机

电感耦合等离子刻蚀机

  • 仪器分类: 微纳加工平台
  • 仪器状态:
  • 所属单位: 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商: 江苏鲁汶仪器有限公司
  • 购置日期: 2020-12-15
  • 使用模式: 按时预约
  • 规格型号: HAASRODE-E200A
  • 放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验室1
仪器生产商

江苏鲁汶仪器有限公司

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2020-12-15

仪器产地

江苏徐州

仪器供应商

江苏鲁汶仪器有限公司

购买经办人

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主要配件

1. ICP反应腔室;2. load-lock预真空腔室;3. 射频源系统;4. 真空系统;5. 气路单元;6. 冷切单元

主要参数

1、可以装载最大样品为8英寸基片单片装载,可以向下兼容6寸,3寸,4寸以及更小尺寸以及碎片,性能稳定; 2、下电极配置水冷和He背冷装置,精确控制下电极工艺温度 3、反应腔室的基础真空度:<5×10-6 Torr;反应腔室真空漏率<1mT/min,预真空室检漏率<10mT/min;系统启动30分钟内本底真空度<2×10-5 Torr; 4、O2、CF4、CHF3、SF6、Ar、N2气路; 5、Si etch Etch rate>300nm/min;Selectivity (to PR)>3:1; Sidewall angle>85°,均匀性 :<+/-5% over 4”@10mm去边 6、SiO2 etch Etch rate>100nm/min;Selectivity (to Cr)>20:1;Sidewall angle>85°,均匀性 :<+/-5% over 4”@10mm去边 7、Si3N4 etch Etch rate>70nm/min;Selectivity (to Cr)>20:1;Sidewall angle>85°,均匀性 :<+/-5% over 4”@10mm去边

仪器介绍


仪器名称电感耦合等离子刻蚀机
规格型号Leuven HAASRODE-E200A
仪器放置位置厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层-微纳制造中心-实验室1
仪器功能介绍通过感应耦合(ICP)方式产生高密度高功率等离子体,能兼容SiO2和SiN,SI刻蚀工艺,实现二维材料的刻蚀加工
性能指标

  1. Si etch Etch rate>300nm/min;Selectivity (to PR)>3:1;Sidewall angle>85°,均匀性 :<+/-5% over 4”@10mm去边 

  2. SiO2 etch Etch rate>100nm/min;Selectivity (to Cr)>20:1;Sidewall angle>85°,均匀性 :<+/-5% over 4”@10mm去边 

  3. Si3N4 etch Etch rate>70nm/min;Selectivity (to Cr)>20:1;Sidewall angle>85°,均匀性 :<+/-5% over 4”@10mm去边


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样品要求

  1. 8寸及以下;

  2. 反应生成物为气体;

仪器说明
  1. ICP反应腔室 (6061材料,表面硬质阳极氧化,含He背冷);

  2. 干泵( 抽速:100m³/h-Edwards);

  3. 分子泵( 含分子泵控制器-Edwards);

  4. 射频电源(ICP激励电源13.56MHZ,1.2KW射频电源及自动匹配器;偏压电源13.56MHZ,1KW射频电源及自动匹配器,AE);

  5. 工艺硅检测(满量程0.1Torr -inficon);

  6. 集成调压阀(650系列集成调压阀 VAT);

  7. Chiller(-30~130℃可控 Julabo);

  8. Load Lock传送腔室(一套门阀以及一组机械手 江苏鲁汶,腔室内接送片装置);

  9. O2、CF4、CHF3、SF6、Ar、N2气路;

  10. 机械泵(北仪优成);

  11. 全量程规 (MPG-400系列宽量程压力规 Inficon,5Torr真空计 Inficon)


预约悉知:

               1、刻蚀新材料需提前与管理员沟通;

               2、预约需先提前告知管理员刻蚀样品形态、掩膜层、截止层及基底材料;

               3、设备主要刻蚀硅基材料,刻蚀非硅基材料(尤其是金属材料),需与管理员沟通确认;


主要仪器管理员

**** 请登录后查看管理员信息

仪器管理员

****

仪器管理员

****

仪器管理员

****

仪器管理员

****

工作时间

08:30-12:00;14:00-17:30

最小可预约时间段

0.25 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

0.25 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 12小时; 资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间

未授权: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点

预约保护时间

30 分钟

失约保护时间

30 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

120 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
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