Zeiss
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2020-09-23
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| 仪器名称 | 场发射扫描电子显微镜 Field emision Scanning Electron Microscopy |
| 规格型号 | Zeiss GeminiSEM 500 |
| 仪器放置位置 | 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1166实验室 |
| 仪器功能介绍 | （1）获取样品的微纳米级高分辨形貌，分析材料成份和晶体取向； （2）可进行二次电子与背散射电子任意比例混合信号叠加成像； （3） 可进行能谱元素成分分析。 |
性能指标 | （1）分辨率：二次电子成像，0.5nm@15kV/0.8nm@1kV；背散射电子成像，1.0nm@1kV； （2）电子枪：热场发射电子枪； （3）最大探针电流20nA； （4）EDS可分析元素范围：B~U(可测Li单质点扫)； （5）能量分辨率Mn/Ka 优于 127eV； （6）溅射离子仪镀膜速率：15nm/min（Pt靶材）。 |
| 样品要求 | （1）样品无水无油，多孔类或易潮解的样品，需进行真空干燥处理； （2）样品最大直径应≤80mm； （3）样品应具有导电性，若样品不导电或导电性差，则需要进行镀金、铂、碳等导电膜的处理（本平台提供镀铂服务，需另行收费）； （4）送样测试建议提供文献图片和符合要求的图片供测试工程师参考，或详细填写测试预约表，每个区域提供3-4张不同放大倍数满足测试要求的图片，如不能满足要求，拍摄多区域图像证实样品真实情况，寄送样品质量应大于20mg。 |
| 仪器说明 | （1）该仪器设备配有独立的二次电子探测器（SE2和Inlens）和背散射电子探测器（EBS和 BSD1），可选择接受二次电子、背散射电子进行成像，也可以以任意比例混合信号进行叠加成像； （2）配备X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素（包括锂单质）的定性、半定量分析； （3）配有离子溅射仪，靶材为Pt，具有倒计时喷涂以及厚度喷涂两种模式，可监控喷涂厚度。 |
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09:00-12:00;14:00-17:30
0.5 小时
2 小时
0.25 小时
未授权用户: 2小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
未授权: 7 天 21 点； 普通: 7 天 21 点； 资深: 7 天 21 点
30 分钟
30 分钟
30 秒
5 秒
90 秒
10 次/天
720 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
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