半导体器件测试探针台 首页 / 仪器预览

半导体器件测试探针台

  • 仪器分类: 微纳加工平台
  • 仪器状态:
  • 所属单位: 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商: Lake Shore Cryotronics,Inc
  • 购置日期: 2019-11-19
  • 使用模式: 按时预约
  • 规格型号: CRX-6.5K
  • 放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验室4
仪器生产商

Lake Shore Cryotronics,Inc

资产编号

----

资产负责人

----

购置日期

2019-11-19

仪器产地

美国

仪器供应商

厦门欣恒艺科技有限公司

购买经办人

朱梦思

主要配件

分子泵组、RG0206循环冷却水机、压缩机、336四通道控温仪

主要参数

温度范围:6.5K-350K;控温精度:100mK;漏电流<100fA;显微镜分辨率:优于4μm;真空指标:<5*E-5 Torr;最大样品尺寸:1.25英寸

仪器介绍


仪器名称半导体器件测试探针台 
Probe station for semiconductor device measurement
规格型号Lake Shore CRX-6.5K
仪器放置位置厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼洁净室
仪器功能介绍半导体器件测试探针台可以进行基础的电学测试,测试场效应晶体管的饱和漏电流、夹断电压、开启电压、低频跨导等场效应管的重要参数;该设备还可以完成光电探测器方面的测试,特定的探针臂带有可调波长及可调光功率的光纤,可以测试样品在不同光功率下的转移曲线和传输曲线;该设备同时可以进行在低温及高温的变化温度下对样品的分析测试,低温下测试的样品可以减小热扰动对于测试结果带来的不准确性。
性能指标1.温度范围:10K-350K;
2.控温稳定性:优于±100mk;
3.光分辨率:优于4μm;
4.探针臂的可三维移动
   X方向不小于51mm
   Y方向不小于25mm
   Z方向不小于18mm
5.漏电流:<100fA 
样品要求尺寸不超过30mm的器件
仪器说明主机系统配了5根电学测试探针臂,供操作者在低温测试的环境下获取测试器件的电学IV,CV性能,一根光学探测探针臂,同时可测量器件的光电性能。此外,该设备与半导体参数仪联用,可直接用半导体分析仪控制半导体器件测试探针台的温度,可对制得器件的电学性质进行表征和测试分析。


主要仪器管理员

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仪器管理员

****

仪器管理员

****

仪器管理员

****

工作时间

06:00-22:00

最小可预约时间段

0.5 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

0.5 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 1小时; 普通资格用户: 0.5小时; 资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间

未授权: 168 小时 0 点; 普通: 168 小时 0 点; 资深: 168 小时 0 点

预约保护时间

15 分钟

失约保护时间

15 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

120 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
  • 待审核

  • 预约有效

  • 预约完成

  • 预约失约

  • 预约被占用

  • 序号 标题 链接 操作
    1 Conjugated Phosphonic Acids Enable Robust Hole Transport Layers for Efficient and Intrinsically Stable Perovskite Solar Cells https://doi.org/10.1002/adma.202308969 详情
    2 Light Soaking Induced Halide Doping of Evaporated Spiro-OMeTAD in Perovskite Solar Cells https://mp.weixin.qq.com/s/tb8evfCYc8Qo5_VRLA0IVw;https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/lpor.202200475 详情
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