北方华创
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2021-12-17
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适用于8英寸及以下Si片；深宽比≥30:1，PR胶选择比≥20:1，SiO2选择比≥30:1，侧壁垂直度90±0.5°，
在Si片上或者SOI上刻蚀具有垂直侧壁的高深宽比的沟槽、孔、柱子。只用于刻蚀SI类材料，不得刻蚀含有或者带有金属物质的材料。
如需委托实验请至少提前48小时通知管理员
预约需先提前告知管理员
需告知刻蚀样品形态，以及掩膜版&基底材料，未经允许不得刻蚀任何带有金属的样品
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7:00-20:00
0.25 小时
168 小时
0.25 小时
未授权用户: 12小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
未授权: 168 小时 0 点； 普通: 168 小时 0 点； 资深: 168 小时 0 点
15 分钟
15 分钟
30 秒
5 秒
120 秒
5 次/天
1440 分钟
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