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场发射扫描电子显微镜

场发射扫描电子显微镜

  • 仪器分类: 电子显微平台
  • 仪器状态: (尹世豪)
  • 所属单位: 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商: Zeiss
  • 购置日期: 2020-09-23
  • 使用模式: 按时预约
  • 规格型号: GeminiSEM 500
  • 放置房间号: 厦大翔安校区能源材料大楼1号楼1166室
仪器生产商

Zeiss

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2020-09-23

仪器产地

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仪器供应商

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购买经办人

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主要配件

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主要参数

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仪器介绍

仪器名称

场发射扫描电子显微镜

Field emision Scanning Electron Microscopy

规格型号Zeiss GeminiSEM 500
仪器放置位置厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1166实验室
仪器功能介绍

(1)获取样品的微纳米级高分辨形貌,分析材料成份和晶体取向;

(2)可进行二次电子与背散射电子任意比例混合信号叠加成像;

(3) 可进行能谱元素成分分析。


性能指标

(1)分辨率:二次电子成像,0.5nm@15kV/0.8nm@1kV;背散射电子成像,1.0nm@1kV;

(2)电子枪:热场发射电子枪;

(3)最大探针电流20nA;

(4)EDS可分析元素范围:B~U(可测Li单质点扫);

(5)能量分辨率Mn/Ka 优于 127eV;

(6)溅射离子仪镀膜速率:15nm/min(Pt靶材)。

样品要求

(1)样品无水无油,多孔类或易潮解的样品,需进行真空干燥处理;

(2)样品最大直径应≤80mm;

(3)样品应具有导电性,若样品不导电或导电性差,则需要进行镀金、铂、碳等导电膜的处理(本平台提供镀铂服务,需另行收费);

(4)送样测试建议提供文献图片和符合要求的图片供测试工程师参考,或详细填写测试预约表,每个区域提供3-4张不同放大倍数满足测试要求的图片,如不能满足要求,拍摄多区域图像证实样品真实情况,寄送样品质量应大于20mg。

仪器说明

(1)该仪器设备配有独立的二次电子探测器(SE2和Inlens)和背散射电子探测器(EBS和 BSD1),可选择接受二次电子、背散射电子进行成像,也可以以任意比例混合信号进行叠加成像;

(2)配备X射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素(包括锂单质)的定性、半定量分析;

(3)配有离子溅射仪,靶材为Pt,具有倒计时喷涂以及厚度喷涂两种模式,可监控喷涂厚度。


主要仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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仪器管理员

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工作时间

09:00-12:00;14:00-17:30

最小可预约时间段

0.25 小时

最大可预约时间段

2 小时

日历最小单位

0.25 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 0小时; 普通资格用户: 0小时; 资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间

未授权: 7 天 21 点; 普通: 7 天 21 点; 资深: 7 天 21 点

预约保护时间

30 分钟

失约保护时间

30 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

60 秒

最大有效预约次数

10 次/天

无代价撤销预约时间

360 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
1 场发射扫描电镜自主培训流程及所需材料 5 2021-12-06 14:36:39 文件下载
2 生物样品临界点干燥 1 2021-12-06 14:12:03 文件下载
3 扫描电镜操作说明 1 2021-12-06 14:10:44 文件下载
  • 待审核

  • 预约有效

  • 预约完成

  • 预约失约

  • 预约被占用

  • 序号 标题 链接 操作
    1 场发射扫描电镜2021年成果展示 暂无 详情
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