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形状测量激光显微镜

形状测量激光显微镜

  • 仪器分类: 微纳加工平台
  • 仪器状态:
  • 所属单位: 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商: KEYENCE
  • 购置日期: 2019-09-14
  • 使用模式: 按时预约
  • 规格型号: VK-X1000
  • 放置房间号: 能源材料大楼1号楼洁净室实验室1
仪器生产商

KEYENCE

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2019-09-14

仪器产地

日本

仪器供应商

基恩士

购买经办人

戴彬

主要配件

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主要参数

1.综合倍率:28800倍以下 2.视野(最小视野范围):11μm~7398μm 3.Z轴显示分辨率:0.5nm 4.XY轴显示分辨率:1nm 5.XY载物台电动运行范围:100mm*100mm 6.光源波长:紫色半导体激光404nm

仪器介绍

VK-X1000系列使用由激光光源和白光LED光源组成的双向光源。两个光源一起提供创建深层空间彩色图像、激光强度图像或高度图像所需的颜色、激光强度和高度信息。 

仪器功能:

1.1 测量任意直线上的轮廓 (截面)。

1.2 测量抗蚀薄膜或涂膜等透明物的表面轮廓。

1.3 沿着随意选择的直线测量如抗蚀薄膜或涂膜等透明物的轮廓 (横截面)。

1.4 色彩鲜明地观察缺乏颜色变化的样品。

1.5 在非常不平整的样品上整体对焦。

1.6 测量大小和长度

1.7 获取大范围的高分辨率图像

    注意事项

2.1 请勿凝视LED光及镜面反射光。

2.2 VK-X1000系列使用了精密的光学零部件,因此请避免受到振动及冲击。否则可能会引起损坏。

2.3 请勿让异物进入内部。否则可能导致火灾、触电、故障或事故。

2.4 切勿拆下VK-X1000系列的外壳。触摸内部可能会导致触电。

2.5 镜头旋转器移动时请勿触摸。这样做可能会将手或手指夹在该机构中。

2.6 小心夹手,请勿将手伸入载物台与机体之间。若被夹住可能导致受伤。

2.7 在拔掉/插入电源线、控制器缆线或摄像机缆线之前,确保VK-X1000系列的电源已经切断。否则可能会引起故障。

2.8 请勿使样品接触镜头部。否则可能会引起损坏。

2.9 标准XYθ载物台时,请勿放置5.0kg以上的物体,电动XY载物台时,请勿放置3.0kg的物体。否则可能会引起损坏。

2.10测量过程中请勿关闭电源。否则,可能会丢失部分或所有设置。

2.11除更换镜头之外,请勿触碰电动旋转器。否则可能引起故障。

2.12请勿在通电的状态下用手转动电动旋转器。否则可能会引起故障。


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粗糙度测量

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轮廓测量

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仪器管理员

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仪器管理员

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工作时间

09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段

0.25 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

0.25 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 12小时; 普通资格用户: 3小时; 资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间

未授权: 168 小时 0 点; 普通: 168 小时 0 点; 资深: 168 小时 0 点

预约保护时间

15 分钟

失约保护时间

15 分钟

断电延时时间

5 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

120 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

720 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
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