晶圆级对准光刻机

晶圆级对准光刻机

  • 仪器分类 微纳加工平台
  • 仪器状态
  • 所属单位 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商 SUSS MicroTec Lithography GmbH
  • 购置日期 2020-09-01
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 SUSS MA8BA8 Gen4
  • 放置房间号 洁净室实验室2

使用指南

  • 暂无数据

FAQ

  • 暂无数据

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