嘉庚创新实验室微纳加工平台黄光间施工公告
发布时间：2022-07-14 17:09
为满足未来显示技术研究院步进光刻机设备装机场地需求，计划于2022年8月16日—2022年9月16日对能源材料大楼1号楼微纳加工平台黄光间（实验室2）进行施工改造。期间部分工艺设备开放运行受到影响，请各位用户提前规划实验安排，施工带来不便，敬请谅解，谢谢。
| 施工期间受影响设备停机计划表 | |
| 停用时间 | 停用设备 |
| 8月16日-- 9月16日 | 黄光间所有设备：全自动涂胶显影、掩膜光刻机、晶圆键合机、激光直写、通风橱、烘箱、金相显微镜 |
| 8月16日-- 8月23日 | 电感耦合等离子体气相沉积系统、原子层沉积系统 |
| 8月20日-- 8月21日 | 电感耦合等离子体刻蚀、电子束曝光系统 |
责任部门：未来显示技术研究院
联系人：夏高强 15001963532
监督部门：设备管理办公室
联系人：张清源 15985813713
2022年7月13日
