技鼎股份有限公司
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2021-12-09
台湾
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陈超
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1、适用于最大6英寸晶圆、并向下兼容4英寸的晶圆以及不规则碎片； 2、双层钨丝卤素石英灯管加热，加热灯源 33pieces 3kW of Halogen Lamp 3、10 区灯管温控系统以提供较好的温度均匀性； 4、300℃~ 800℃(Thermocouple) (T＜500℃，10min；T＜800℃，3min) 5、≦500℃±5℃ ，>500℃±1% 6、温度重现性 ±2℃ 7、升温速率 10℃/sec 8、制程气体 Standard 2 组（O2、N2）
本设备为RTP-761SA处理晶圆的快速热制程系统，以红外线卤素灯管为热源，分由上、下、左、右同步辐射加热制品从而达到均匀的热处理制程，架构采用石英Tube 之腔体设计。机台操作控制为 PC-based 控制器，Windows 系统下架构图形窗口接口 具有方便、简易及弹性的操控特性。
1.直径为6英寸以下晶圆或不规则碎片；
2.样品上无液体、无挥发，无有机材料或不耐高温材料；
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09:00-12:00;14:00-18:00
0.5 小时
168 小时
0.5 小时
未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 0小时
未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
15 分钟
15 分钟
30 秒
5 秒
120 秒
5 次/天
1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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待审核
预约有效
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预约被占用
| 序号 | 标题 | 链接 | 操作 |
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