MPI
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2022-01-21
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黄婷
1、本仪器由C1型号的micro LED探针台及MT200的测试系统组成， 2、C1型号的探针台，其包括工业计算机、视觉系统（包含0.65倍的筒镜及2-50X的物镜）配备两个电动针座、自动寻边器及针压测试系统。电动针座的移动精度≤±1um，本探针台X方向移动最大路程为215mm,重复性≤3um@100mm,Y方向移动最大路程为240mm,重复性≤3um@100mm,Z轴最大路程为19mm，重复性≤±1um，T轴方向最大路程为±11°，分辨率为0.000112257° 3、MT200测试系统包括keithley2636B电源（最小量测范围为100mV,200pA)、海洋光学光谱卡（可量测波长范围为350-1000nm、积分球+PD收光模块、NF收光模块及直接光纤收光模块。可量测最小光功率30nW的芯粒 4、其配备ESD测试模块，可模拟人体及机械模式的静电进行测试。
1、适用于最大6英寸晶圆、并向下兼容4英寸的晶圆以及不规则碎片； 2、具有2种不同类型的chuck载盘，漏空的及透明玻璃载盘，配备keithley2636B电源（最小量测范围为100mV,200pA)、海洋光学光谱卡（可量测波长范围为350-1000nm、积分球+PD收光模块、NF收光模块及直接光纤收光模块； 3、配备探针直径为1um/2.5um/6um等不同尺寸及不同材料的探针，可量测芯粒PAD（电极）大小为≥5um的micro LED芯粒 4、各光电参数的动静态重新性指标如下：静态扎针不动，驱动电流（10uA,5uA,1uA）,WLD±0.1nm，WLP±0.25nm，LOP±1%,VF重复性±0.01V,HW重复性±0.25nm；动态机台Chuck移动，驱动电流(10uA,5uA,1uA）,WLD±0.3nm，WLP±0.4nm，LOP±1%,VF重复性±0.01V,HW重复性±0.4nm 5、可进行HBM1000-4000V，MM100-400V的ESD量测，还可进行外圈ESD定位量测。
仪器名称 | LED光电参数测试机 |
规格型号 | C1+MT200 |
仪器放置位置 | 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层-微纳制造中心-实验室1 |
仪器功能介绍 | 本设备属于倒装mini及micro LED芯片光电参数测试系统，利用电源、光谱仪及相应收光模块测试倒装mini及micro LED芯片的光电参数。 |
性能指标 | 1、适用于最大6英寸晶圆、并向下兼容4英寸的晶圆以及不规则碎片； |
样品要求 | 1、直径为6英寸以下晶圆或不规则碎片，结构为倒装芯粒，电极尺寸≥5um； |
仪器说明 | 1、本仪器由C1型号的micro LED探针台及MT200的测试系统组成， 3、MT200测试系统包括keithley2636B电源（最小量测范围为100mV,200pA)、海洋光学光谱卡（可量测波长范围为350-1000nm、积分球+PD收光模块、NF收光模块及直接光纤收光模块。可量测最小光功率30nW的芯粒 4、其配备ESD测试模块，可模拟人体及机械模式的静电进行测试。 |
预约前请提前一天联系管理员，说明测试芯片的结构、尺寸、PAD电极尺寸、需要用的探针、wafer尺寸及告知测试项目、测试条件等测试需求
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09:00-12:00;14:00-18:00
0.5 小时
168 小时
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30 分钟
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