Heidelberg Instruments
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2022-11-17
德国
Stella International Corporation Limited
王雅思
1、激光器：波长405nm；2、4种直写写头：HiRes、4mm、10mm、40mm，分辨率分别为0.3/0.6/1/4μm；3、高精度工作台，样品定位精度10nm；4、氦氖激光干涉仪，分辨率：10 nm；5、自动聚焦系统；6、电器控制系统等。
1、LED405nm光源，输出功率300mW；2、最大基板尺寸9英寸，最大写入面积200×200mm2；3、样品厚度0mm~12mm；4、最高分辨率300nm，多种分辨率0.3/0.6/1/4μm；5、最大写入速度2000mm2/min；6、正背面套刻功能，正面套刻精度0.5μm ，背面套刻精度1μm 。
| 仪器名称 | 大型激光直写系统 |
| 仪器型号 | DWL 66+ |
| 仪器功能 | 1、普通光刻：百纳米/微米级图形结构、掩模版等； 2、正背面套刻； 3、灰度加工：支持0~255灰阶，三维形貌结构； 4、自动测量系统：可测量线宽，间距，线边粗糙度等 |
| 性能指标 | 1、最高分辨率300nm； 2、4种写头，分辨率分别为0.3/0.6/1/4μm； 3、正背面套刻功能，正面套刻精度：0.5μm，背面套刻精度：1μm； 4、最高分辨率下加工拼接精度：50nm； 5、灰度光刻：支持0~255灰阶； 6、最大基板尺寸9英寸，最大写入面积200×200mm2，最快刻写速度：2000 mm2/min； |
| 样品要求 | 1、支持8英寸及向下尺寸兼容； 2、样品厚度0~12mm； |
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09:00-12:00;14:00-18:00
0.5 小时
168 小时
0.5 小时
未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
未授权: 168 小时 0 点； 普通: 168 小时 0 点； 资深: 168 小时 0 点
30 分钟
30 分钟
30 秒
5 秒
120 秒
5 次/天
1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
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| 普通资格 | ||
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| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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