Carl Zeiss
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2024-01-16
德国
卡尔蔡司（上海）管理有限公司
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电子枪Electron Gun：Gemini 离子枪Ion Gun: Ion-sculptor 离子源Ion Source: Ga+\ GIS:C和W STEM探头 冷冻传输 飞行时间-二次离子质谱TOF-SIMS
二次电子分辨率：0.9nm@15kV，1.7nm@1kV 聚焦离子束分辨率：3.0nm@30kV STEM分辨率：0.7 nm@30 kV 电子束加速电压：0.02~30kV 离子束加速电压：0.5~30kV 样品台最大移动行程：X=100mm,Y=100mm,Z=50mm
仪器名称 | 聚焦离子束-扫描电子显微镜 Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope |
仪器型号 | Crossbeam 350 |
仪器放置位置 | 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1162-03 |
仪器功能介绍 | (1)蚀刻与材料去除：离子束以纳米精度去除材料，实现高精度的微纳加工； (2)成像与表面形貌观察：电子束与离子束撞击样品时，会产生二次电子、背散射离子等信号，这些信号可以被收集并转换为图像； (3)常规以及冷冻TEM样品制备：FIB能够在-160°至常温下从各类材料中制备厚度仅为数十纳米的薄片，这些薄片足够透明以供TEM观察内部结构； (4)元素分析：FIB结合TOF-SIMS可实现H-Th范围内的元素半定量分析； (5) 三维重建：通过连续切片和图像重建技术，实现样品的三维结构分析。 |
性能指标 | (1) 电子束分辨率:：At optimum WD:：0.9 nm@ l5kV，1.7 nm @1 kV；At coincident point:：1.1 nm @ 15 kV, 1.7 nm @ 1 kV； (2) 离子束分辨率：3 nm@30 kV，330 nm@500 V； (3) TOF-SIMS 分辨率：质量分辨率>500；检测质量范围(Th)：1-500；横向空间分辨率：35 nm；深度分辨率：20 nm；检测限:ppm； (4) 电子枪类型：肖特基场发射灯丝(Zro/W)，电子束流范围5 pA-20 nA，加速电压范围0.02-30 kV； (5) 离子枪类型：液态金属Ga离子源，离子束流范围1 pA-100 nA，加速电压范围0.5-30 kV； (6) GIS源类型：W(Tungstem，W(CO))，C(Naphthalene，C10H8)； |
样品要求 | (1) 测试样品必须完全干燥，不含真空下会挥发的水分或溶剂等； (2) 块体样品大小一般不能超过10×10×5 mm； (3) 粉末样品建议使用合适的溶剂分散到导电衬底上，或用其他方式分散样品以方便单个颗粒的TEM样品制备； (4) 待测样品应该具有适当、足够的机械强度，以避免在进出电镜、或在检测的操作过程中，发生剥落、碎裂的状况； (5) 样品应具有导电性，若样品不导电或导电性差，则需要进行镀金、铂、碳等导电膜的处理； (6) 强磁样品测试前应提前与工程师沟通。 |
仪器说明 | 该设备集形貌观察、定位制样、成分分析、薄膜沉积、三维重构、半导体失效分析和线路修补以及透射电镜样品制备各种功能于一体。该设备上特别配置了飞行时间-二次离子质谱仪器(TOF-SIMS)，可用于H, He, Li 等的轻元素检测，其检出限可达ppm 级别。尤其配置了冷冻样品台、冷冻纳米机械手以及冷冻传输系统，可以在-160°环境下对各类样品进行冷冻透射电镜（TEM）制样，避免加工过程中热效应以及非晶损伤对样品结构的损坏。 |
(1) 测试样品必须完全干燥，不含真空下会挥发的水分或溶剂等；
(2) 块体样品大小一般不能超过10×10×5 mm；
(3) 粉末样品建议使用合适的溶剂分散到导电衬底上，或用其他方式分散样品以方便单个颗粒的TEM样品制备；
(4) 待测样品应该具有适当、足够的机械强度，以避免在进出电镜、或在检测的操作过程中，发生剥落、碎裂的状况；
(5) 样品应具有导电性，若样品不导电或导电性差，则需要进行镀金、铂、碳等导电膜的处理；
(6) 强磁样品测试前应提前与工程师沟通；
(7)请确保样品来源合法合规，禁止测试易制毒、易制爆或者其他违反法律规定的物品，样品的使用、测试责任由本人承担；
(8)如需长期使用双束FIB设备，可以申请培训、练习和考核流程，考核通过后可以申请自主操作权限。培训请联系管理员。
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09:00-12:00;14:00-18:00
0.5 小时
168 小时
0.5 小时
未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
5 分钟
15 分钟
0 秒
1 秒
5 秒
5 次/天
1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
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| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 链接 | 操作 |
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