仪器生产商

Carl Zeiss

资产编号

----

资产负责人

----

购置日期

2024-01-16

仪器产地

德国

仪器供应商

卡尔蔡司（上海）管理有限公司

购买经办人

----

主要配件

电子枪Electron column：Gemini 离子枪Ion column: Ion-sculptor 离子源Ion source: Ga+\ STEM探头冷冻传输飞行时间-二次离子质谱TOF-SIMS

主要参数

二次电子分辨率：0.9nm@15kV，1.7nm@1kV 聚焦离子束分辨率：3.0nm@30kV STEM分辨率：0.7 nm@30 kV 电子束加速电压：0.02~30kV 离子束加速电压：0.5~30kV 样品台最大移动行程：X=100mm,Y=100mm,Z=50mm

仪器介绍

该设备集形貌观察、定位制样、成分分析、薄膜沉积、三维重构、半导体失效分析和线路修补以及透射电镜样品制备各种功能于一体。该设备上特别配置了飞行时间-二次离子质谱仪器(TOF-SIMS)，可用于H, He, Li 等的轻元素检测，其检出限可达 ppm 级别。尤其配置了冷冻样品台、冷冻纳米机械手以及冷冻传输系统，可以在-160°环境下对各类样品进行冷冻透射电镜（TEM）制样，避免加工过程中热效应以及非晶损伤对样品结构的损坏。

主要仪器管理员

**** 请登录后查看管理员信息

仪器管理员

****

工作时间

08:30-12:00;14:00-17:30

最小可预约时间段

2 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

4 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间

未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间

15 分钟

失约保护时间

15 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

120 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	禁止预约	禁止预约
普通资格	禁止预约	禁止预约
资深资格	禁止预约	禁止预约

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

待审核

预约有效

预约完成

预约失约

预约被占用

序号	标题	链接	操作

使用指南 more>>

FAQmore>>

用户评论

暂无评论

聚焦离子束扫描电子显微镜

使用指南 more>>

FAQmore>>

用户评价

用户评论