仪器生产商

Carl Zeiss

资产编号

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资产负责人

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购置日期

2024-01-16

仪器产地

德国

仪器供应商

卡尔蔡司（上海）管理有限公司

购买经办人

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主要配件

电子枪Electron Gun：Gemini 离子枪Ion Gun: Ion-sculptor 离子源Ion Source: Ga+\ GIS:C和W STEM探头冷冻传输飞行时间-二次离子质谱TOF-SIMS

主要参数

二次电子分辨率：0.9nm@15kV，1.7nm@1kV 聚焦离子束分辨率：3.0nm@30kV STEM分辨率：0.7 nm@30 kV 电子束加速电压：0.02~30kV 离子束加速电压：0.5~30kV 样品台最大移动行程：X=100mm,Y=100mm,Z=50mm

仪器介绍

该设备集形貌观察、定位制样、成分分析、薄膜沉积、三维重构、半导体失效分析和线路修补以及透射电镜样品制备各种功能于一体。该设备上特别配置了飞行时间-二次离子质谱仪器(TOF-SIMS)，可用于H, He, Li 等的轻元素检测，其检出限可达 ppm 级别。尤其配置了冷冻样品台、冷冻纳米机械手以及冷冻传输系统，可以在-160°环境下对各类样品进行冷冻透射电镜（TEM）制样，避免加工过程中热效应以及非晶损伤对样品结构的损坏。

主要仪器管理员

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仪器管理员

****

工作时间

08:30-12:00;14:00-17:30

最小可预约时间段

2 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

4 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间

未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间

15 分钟

失约保护时间

15 分钟

断电延时时间

30 秒

最短重上电时间

5 秒

使用超时提醒

120 秒

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	禁止预约	禁止预约
普通资格	禁止预约	禁止预约
资深资格	禁止预约	禁止预约

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