电感耦合等离子刻蚀机基本操作
- 仪器名称 电感耦合等离子体刻蚀系统-氯气
- 仪器分类 微纳加工平台
- 仪器状态
- 所属单位 嘉庚创新实验室
- 培训时间 2025-12-17 14:30:00 ~ 2025-12-17 16:30:00
- 培训老师 林俊江
- 报名人数 3
- 规格 GSE C200
- 放置位置 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验1
培训内容
培训内容：
1、样品准备
2、软件基本讲解
3、样品刻蚀演示
注意事项：
1、报名人数≤3人
2、因设备含氯气，所以每个课题组只允许2个人参加培训，所以请参加培训的同学同课题组的老师确定好是否参加培训
3、培训费用500元/人/次
已报名
- 温海浪
- 全雪松
- 林于翔