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SiOx薄膜均匀性

创建时间：2022-02-28 20:22:38

6英寸的硅片上沉积不同厚度的SiOx，膜厚的均匀性控制在＜3%，光学常数n在1.47左右

SiOX 6英寸均匀性.png

友情链接: 厦门大学; 嘉庚创新实验室; 厦门大学实验室与设备管理处; 厦门大学石墨烯工程与产业研究院; 厦门大学化学化工学院; 固体表面物理化学国家重点实验室（厦门大学）

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