超快激光三维微纳刻蚀平台设备正式开放通知

嘉庚创新实验室超快激光三维微纳刻蚀平台（FEMTOLAB）已完成装机调试（图1），安装于厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1161，将于2024年8月1号正式开放。联系人：林俊江 （15859703581），陈海城 (15396229468)。

该设备的关键参数：激光器波长1030/515/257nm；XYZ移动范围200×200×60mm，XY轴精度±0.4μm, Z轴精度±0.275μm。

应用领域：主要应用于各类材料表面的高自由度的精密加工、微纳加工、材料改性等；同时也可应用于透光材料的内部雕刻等。