电感耦合等离子刻蚀机-E200A
仪器分类： 微纳加工平台
仪器状态： 运行状态： 维护中
所属单位： 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
开始时间： 2026-10-13 09:30:00 - 2026-10-13 12:00:00
预约人： 黄婉莹
已报名人员： 2
