原子层刻蚀机-氯气
仪器分类： 微纳加工平台
仪器状态： 运行状态： 空闲
所属单位： 嘉庚创新实验室
开始时间： 2026-10-16 14:30:00 - 2026-10-16 16:00:00
预约人： 林俊江
已报名人员： 1
