HF气相腐蚀系统
HF气相腐蚀系统
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仪器分类
Micro LED技术创新平台
仪器状态
空闲
所属单位
嘉庚创新实验室
仪器生产商
SPTS
购置日期
2022-09-16
使用模式
项目委托,按时预约
规格型号
uEtch
放置房间号
能源材料大楼微纳加工实验室1
使用指南
暂无数据
FAQ
暂无数据
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