反应离子束刻蚀系统

反应离子束刻蚀系统

  • 仪器分类 微纳加工平台
  • 仪器状态
  • 所属单位 嘉庚创新实验室
  • 仪器生产商 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
  • 购置日期 2025-02-18
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 RFIBE-300
  • 放置房间号 厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

使用指南

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FAQ

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