基本信息

  • 生产厂商 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
  • 资产编号
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2025-02-18
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
  • 购买经办人陈海城
  • 主要配件 1 工艺腔体-衬板 非标 2 射频离子源 RF-30cm 3 射频中和器及电源 0-1500mA 4 MFC流量控制器 FCE 5 分子泵 ATH2303，抽速：2150L/S 6 刻蚀腔前级干泵 GH-160A-01抽速：600m³/h 7 LoadLock腔前级干泵 IDSP36抽速：36m³/h 8 LoadLock腔分子泵 JTFB-80 9 8英寸机械电极 φ200mm 10 传输机械手 Φ200mm 11 冷水机（水冷机） DX-208.温度调节范围-20°~35° 12 背氦压力监测装置（电容薄膜规） ZJ-1C-12TFV 13 栅网绝缘陶瓷 非标 14 栅网隔离套 非标 15 石英杯 非标
  • 主要参数1. 样品兼容性 o 最大支持晶圆尺寸：8英寸 o 兼容更小尺寸样品 2. 衬板与样品台设计 o 专用衬板：2套，易拆卸、易清洁 o 样品台倾斜范围：-90°至+80° o 样品台旋转速度：0-20rpm可调 3. 射频离子源技术 o 离子源直径：≥220mm o 提供稳定、高效的离子束输出 4. 刻蚀性能 o 支持垂直刻蚀与斜齿刻蚀 o 8英寸样品片内均匀性：<5% o 6英寸样品片内均匀性：<3% 5. 工艺温度控制 o 腔体内工艺温度：≤80℃ 6. Load Lock腔体设计 o 有效隔离外界污染，提高工艺效率与设备稳定性 7. 真空系统 o 泵组配置：涡轮分子泵+干泵 o 真空计配置：工艺腔与Load Lock腔分别配置 o 分子泵最大抽速：不低于2100L/s o 干泵最大抽速：不低于600m³/h o 工艺腔极限真空度：7x10-7Torr量级，20分钟可达10-6Torr量级。 o Load Lock极限真空度：10-6Torr，15分钟可达10-4Torr。

仪器介绍

仪器名称反应离子束刻蚀机
规格型号RFIBE-30
仪器放置位置厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层-微纳制造中心-实验室1
仪器功能介绍结合纯物理刻蚀及反应气体辅助的化学刻蚀，刻蚀气体有：Ar、N2、CHF3、SF6、CF4、O2，可实现对包括贵 金属的各类金属，介质，化合物，石英等各类材料的刻蚀加工
性能指标

 





    • 支持垂直刻蚀与斜齿刻蚀

    • 8英寸样品片内均匀性：<5%

    • 6英寸样品片内均匀性：<3%


样品要求

   8寸及以下；

仪器说明


  1.  o 最大支持晶圆尺寸：8英寸

  2. o 兼容更小尺寸样品

  3. 2. 衬板与样品台设计 

  4. o 专用衬板：2套，易拆卸、易清洁

  5. o 样品台倾斜范围：-90°至+80°

  6. o 样品台旋转速度：0-20rpm可调

  7. 3. 射频离子源技术 

  8. o 离子源直径：≥220mm

  9. o 提供稳定、高效的离子束输出

  10. 4. 刻蚀性能 

  11. o 支持垂直刻蚀与斜齿刻蚀

  12. o 8英寸样品片内均匀性：<5%

  13. o 6英寸样品片内均匀性：<3%

  14. 5. 工艺温度控制 

  15. o 腔体内工艺温度：≤80℃

  16. 6. Load Lock腔体设计 

  17. o 有效隔离外界污染，提高工艺效率与设备稳定性

  18. 7. 真空系统 

  19. o 泵组配置：涡轮分子泵+干泵

  20. o 真空计配置：工艺腔与Load Lock腔分别配置

  21. o 分子泵最大抽速：不低于2100L/s

  22. o 干泵最大抽速：不低于600m³/h

  23. o 工艺腔极限真空度：7x10-7Torr量级，20分钟可达10-6Torr量级。

  24. o Load Lock极限真空度：10-6Torr，15分钟可达10-4Torr。