电感耦合等离子体增强原子层沉积系统（PEALD）

电感耦合等离子体增强原子层沉积系统（PEALD）

  • 仪器分类 微纳加工平台
  • 仪器状态 （何剑波）
  • 所属单位 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商 veeco
  • 购置日期 2022-12-21
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 FIJIF200
  • 放置房间号 翔安校区 > 能源材料大楼 > 1139

使用指南

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FAQ

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