电感耦合等离子刻蚀机

电感耦合等离子刻蚀机

  • 仪器分类 微纳加工平台
  • 仪器状态
  • 所属单位 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商 江苏鲁汶仪器有限公司
  • 购置日期 2020-12-15
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 HAASRODE-E200A
  • 放置房间号 厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

使用指南

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FAQ

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