电感耦合等离子体增强型化学气相沉积系统（PECVD）

电感耦合等离子体增强型化学气相沉积系统（PECVD）

  • 仪器分类 微纳加工平台
  • 仪器状态
  • 所属单位 厦门大学 > 石墨烯工程与产业研究院
  • 仪器生产商 Sentech Instruments GmbH
  • 购置日期 2019-12-03
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 Sentech SI 500D
  • 放置房间号 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验1

使用指南

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FAQ

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