基本信息

  • 生产厂商 陕西博纳自动化工程有限公司
  • 资产编号
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2021-10-13
  • 仪器产地陕西
  • 仪器供应商陕西博纳自动化工程有限公司
  • 购买经办人
  • 主要配件 1-机架 2-旋转架 3-联轴器 4-电机 5-桶 6-喷淋装置 7-热氮吹干装置 8-控制系统 9-除静电装置 10-水阻检测装置 11-排水装置
  • 主要参数1、工作腔数量：2个； 2、适用规格：上腔室为6寸晶圆片，下腔室为4寸晶圆片； 3、工作转速：400-2000rpm; 4、氮气压力：0.2-0.3Mpa； 5、氮气耗量：100-140L/min； 6、去离子水压力：0.2-0.4Mpa; 7、去离子水耗量：5-10L/min; 8、配置电阻率测试仪； 9、配置静电消除装置；

仪器介绍

仪器名称SRD甩干机
规格型号

BNLS300-2-IV

仪器放置位置

厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层-微纳制造中心-清洗间

仪器功能介绍

甩干机主要用于对硅片、蓝宝石片、氮化镓、砷化镓等半导体晶圆进行全自动高速清洗、离心脱水、氮气吹扫烘干、除静电等

样品要求

1、6寸、4寸完整片；

仪器说明

1、工作腔数量：2个；

2、适用规格：上腔室为6寸晶圆片，下腔室为4寸晶圆片；

3、工作转速：400-2000rpm;

4、氮气压力：0.2-0.3Mpa；

5、氮气耗量：100-140L/min；

6、去离子水压力：0.2-0.4Mpa;

7、去离子水耗量：5-10L/min;

8、配置电阻率测试仪；

9、配置静电消除装置；