1       

光谱范围

193~1000nm

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2       

光源

氘灯（10W）+卤素灯（20W）

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3       

光谱测试间隔

1nm（测试数据点800个）

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4       

自动变角

45~90度自动变角，变角准确性0.02度，重复性0.01度

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5       

自动平移

自动XY样品台（12英寸圆样品托）

300mm X/Y自动平移，最小步长2.5μm

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6       

Z轴

自动移动，最大行程18mm，最小步长1μm

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7       

光斑尺寸

普通光斑4mm直径，微光斑300μm直径

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8       

测量参数

分光椭偏:

Ψ：(0-90°) 和 Δ：(0-360°)

N, C, 和 S

强度：透射及反射百分比

退偏振：退偏振百分比

广义椭偏：

AnE, Asp,和Aps (广义琼斯矩阵的3个量)

穆勒矩阵：

穆勒矩阵的所有15个归一化元（对m₁₁归一化）

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9       

测量时间

单点标准椭偏测量最快0.3秒，典型测量时间为1~5秒

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10      

测试准确性

在直射状态下，测量空光束

Ψ：45 ± 0.02°    

Δ：0 ± 0.05°

退偏振: 0% ± 0.5%

15个归一化穆勒矩阵元

对角线: 1 ± 0.002    非对角线: 0 ± 0.002

*10秒平均时间测量，95％的被测波长满足该指标

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11      

厚度的测量重复性

膜厚测量优于0.005nm（30次SiO2厚度测量的标准偏差，样品为带有自然氧化层的硅片）

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12      

折射率n的测量重复性精度

折射率n（632.8nm）≤0.0005（30次石英基底的标准偏差1δ）

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13      

俯仰调节

手动俯仰调节，内置四象限探测器辅助，用于调整楔形样品，调准样品的表面的俯仰度

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14      

样品固定方式

真空吸附固定

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15      

面扫描

适用

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