基本信息
- 生产厂商 Denton vacuum
- 资产编号
- 资产负责人 ----
- 购置日期2021-11-26
- 仪器产地美国
- 仪器供应商
- 购买经办人
- 主要配件 1.真空系统由Loadlock腔和Process腔两部分组成，Loadlock腔采用分子泵+干泵的组合，Process腔采用低温泵+干泵的组合，极限真空8E-8Torr；2.溅射系统：溅射靶枪有4组，配备一组射频电源（600W）、一组直流电源（1200W）、一组脉冲直流电源（1000W）；3.气体供应系统：配备三路气体（氧气、氩气、氮气），各自由100sccm MFC进行控制，具备气压调节功能，维持压力恒定；4.样品系统：样品架最高转速为20rpm，最高温度800摄氏度，同时具备偏压清洗功能（与靶枪共用一组射频电源）。
- 主要参数8寸范围内厚度均匀性≤5%
6寸范围内厚度均匀性≤3%
批次间厚度重复性≤3%
150nm厚度ITO方块电阻≤13±2Ω/□，550nm处透射率≥90%
氮化硅500nm处折射率2.03±0.03
氧化硅500nm处折射率1.45±0.03
