基本信息
- 生产厂商 宁波润华全芯微电子设备有限公司
- 资产编号
- 资产负责人 ----
- 购置日期2021-08-30
- 仪器产地中国
- 仪器供应商深圳华普通用科技有限公司
- 购买经办人宋维英
- 主要配件 全自动匀胶显影系统整机配备有2个匀胶单元、2个显影单元、2个热板、2个冷板、1个AD增粘单元、1个温湿度控制单元、1个机械对中单元。
- 主要参数1、适用于最大6英寸晶圆、并向下兼容4英寸的晶圆；
2、匀胶单元主轴电机转速100-5000RPM,转速精度±1RPM，最大加速度30000RPM；
3、共有2个匀胶单元，单个匀胶单元配备胶路为1路胶泵（带0.1um过滤器、最大光刻胶粘度100CP)和1路针筒供胶系统（最大光刻胶粘度500CP），胶泵配置： 最大输出量： 10ml/1冲程，最大流体粘度500cp，输出量重复精度：±1%，胶嘴具有自动清洗功能，具有胶嘴保湿功能，更换光刻胶后有自动排出气泡功能；
4、匀胶单元旋涂均一性：±2%，4寸硅片，基准胶厚为1.5um（AZ5214E)；
5、AD增粘单元（HMDS）配备的热板温度范围为50-180℃，最小调整量0.1℃，温度均匀性±1.5℃，工艺腔体内，真空环境、热板加热并气化喷洒HMDS 流量：10±2ml/min；
6、显影单元主轴电机转速100-5000RPM,转速精度±1RPM，最大加速度30000RPM；
7、共有2个显影单元，单个显影单元配备胶路为2路显影液（配备温控系统和0.05um过滤器）和1路去离子水，显影流量：30~300ml/min手动可调，流量精度：±2ml@100ml，配备柱状喷嘴，显影方式为Puddle；
8、配备2块热盘，配置顶针和气帘保护温度范围为50-250℃，温度精度为≤0.1℃，温度均匀性: (50℃~120℃ ) ±0.7℃ ，(120.1℃~180℃ ) ±1.5℃，(180.1℃~250℃ ) ±2℃；
