本设备为RTP-761SA处理晶圆的快速热制程系统，以红外线卤素灯管为热源，分由上、下、左、右同步辐射加热制品从而达到均匀的热处理制程，架构采用石英Tube 之腔体设计。机台操作控制为 PC-based 控制器，Windows 系统下架构图形窗口接口 具有方便、简易及弹性的操控特性。