仪器名称 | LED光电参数测试机 |
规格型号 | C1+MT200 |
仪器放置位置 | 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层-微纳制造中心-实验室1 |
仪器功能介绍 | 本设备属于倒装mini及micro LED芯片光电参数测试系统,利用电源、光谱仪及相应收光模块测试倒装mini及micro LED芯片的光电参数。 |
性能指标 | 1、适用于最大6英寸晶圆、并向下兼容4英寸的晶圆以及不规则碎片; |
样品要求 | 1、直径为6英寸以下晶圆或不规则碎片,结构为倒装芯粒,电极尺寸≥5um; |
仪器说明 | 1、本仪器由C1型号的micro LED探针台及MT200的测试系统组成, 3、MT200测试系统包括keithley2636B电源(最小量测范围为100mV,200pA)、海洋光学光谱卡(可量测波长范围为350-1000nm、积分球+PD收光模块、NF收光模块及直接光纤收光模块。可量测最小光功率30nW的芯粒 4、其配备ESD测试模块,可模拟人体及机械模式的静电进行测试。 |