基本信息

  • 生产厂商 MPI
  • 资产编号
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2022-01-21
  • 仪器产地
  • 仪器供应商
  • 购买经办人黄婷
  • 主要配件 1、本仪器由C1型号的micro LED探针台及MT200的测试系统组成, 2、C1型号的探针台,其包括工业计算机、视觉系统(包含0.65倍的筒镜及2-50X的物镜)配备两个电动针座、自动寻边器及针压测试系统。电动针座的移动精度≤±1um,本探针台X方向移动最大路程为215mm,重复性≤3um@100mm,Y方向移动最大路程为240mm,重复性≤3um@100mm,Z轴最大路程为19mm,重复性≤±1um,T轴方向最大路程为±11°,分辨率为0.000112257° 3、MT200测试系统包括keithley2636B电源(最小量测范围为100mV,200pA)、海洋光学光谱卡(可量测波长范围为350-1000nm、积分球+PD收光模块、NF收光模块及直接光纤收光模块。可量测最小光功率30nW的芯粒 4、其配备ESD测试模块,可模拟人体及机械模式的静电进行测试。
  • 主要参数1、适用于最大6英寸晶圆、并向下兼容4英寸的晶圆以及不规则碎片; 2、具有2种不同类型的chuck载盘,漏空的及透明玻璃载盘,配备keithley2636B电源(最小量测范围为100mV,200pA)、海洋光学光谱卡(可量测波长范围为350-1000nm、积分球+PD收光模块、NF收光模块及直接光纤收光模块; 3、配备探针直径为1um/2.5um/6um等不同尺寸及不同材料的探针,可量测芯粒PAD(电极)大小为≥5um的micro LED芯粒 4、各光电参数的动静态重新性指标如下:静态扎针不动,驱动电流(10uA,5uA,1uA),WLD±0.1nm,WLP±0.25nm,LOP±1%,VF重复性±0.01V,HW重复性±0.25nm;动态机台Chuck移动,驱动电流(10uA,5uA,1uA),WLD±0.3nm,WLP±0.4nm,LOP±1%,VF重复性±0.01V,HW重复性±0.4nm 5、可进行HBM1000-4000V,MM100-400V的ESD量测,还可进行外圈ESD定位量测。

仪器介绍

仪器名称

LED光电参数测试机
Micro LED test system

规格型号

C1+MT200

仪器放置位置

厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层-微纳制造中心-实验室1

仪器功能介绍

本设备属于倒装mini及micro LED芯片光电参数测试系统利用电源、光谱仪及相应收光模块测试倒装mini及micro LED芯片的光电参数
C1+MT200的测试机可实现LED各项光电参数的测试,包含顺向电压VF/逆向崩溃电压VZ/顺向电流IF/逆向电流IR/消耗电功率/ESD测试/极性判断/LIV测试/热阻电压差/闸流体效应测试/辐射通量mW/光通量lm/光强度mcd/WLP/WLD/WLC/HW/色坐标/CCT/CRI/光谱等光电参数,最大支持直径150mm晶圆片最小也可支持破片的测试。所有测试项目及测试条件都可根据客户要求进行调整,因此,无论研发还是生产的测试要求都可灵活适应实现。

性能指标

1、适用于最大6英寸晶圆、并向下兼容4英寸的晶圆以及不规则碎片;
2、具有2种不同类型的chuck载盘,漏空的及透明玻璃载盘,配备keithley2636B电源(最小量测范围为100mV,200pA)海洋光学光谱卡(可量测波长范围为350-1000nm积分球+PD收光模块、NF收光模块及直接光纤收光模块
3、配备探针直径为1um/2.5um/6um等不同尺寸及不同材料的探针,可量测芯粒PAD(电极)大小为≥5um的micro LED芯粒
4、各光电参数的动静态重新性指标如下:静态扎针不动,驱动电流(10uA,5uA,1uA),WLD±0.1nm,WLP±0.25nm,LOP±1%,VF重复性±0.01V,HW重复性±0.25nm;动态机台Chuck移动,驱动电流(10uA,5uA,1uA),WLD±0.3nm,WLP±0.4nm,LOP±1%,VF重复性±0.01V,HW重复性±0.4nm
5、可进行HBM1000-4000V,MM100-400V的ESD量测,还可进行外圈ESD定位量测。

样品要求

1、直径为6英寸以下晶圆或不规则碎片结构为倒装芯粒,电极尺寸≥5um  

仪器说明

1、本仪器由C1型号的micro LED探针台及MT200的测试系统组成,
2、C1型号的探针台,其包括工业计算机、视觉系统(包含0.65倍的筒镜及2-50X的物镜)配备两个电动针座、自动寻边器及针压测试系统。电动针座的移动精度≤±1um,本探针台X方向移动最大路程为215mm,重复性≤3um@100mm,Y方向移动最大路程为240mm,重复性≤3um@100mm,Z轴最大路程为19mm,重复性≤±1um,T轴方向最大路程为±11°,分辨率为0.000112257°

3、MT200测试系统包括keithley2636B电源(最小量测范围为100mV,200pA)海洋光学光谱卡(可量测波长范围为350-1000nm积分球+PD收光模块、NF收光模块及直接光纤收光模块。可量测最小光功率30nW的芯粒

4、其配备ESD测试模块,可模拟人体及机械模式的静电进行测试。