基本信息

  • 生产厂商 青岛天仁微纳科技有限责任公司
  • 资产编号
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2022-10-09
  • 仪器产地青岛
  • 仪器供应商青岛天仁微纳科技有限责任公司
  • 购买经办人
  • 主要配件 全自动纳米压印机，工作模具张力控制单元，离线工作模具复制单元；chuck兼容2/4/6/8寸晶圆；
  • 主要参数1、适用于最大8英寸晶圆、并向下兼容6英寸、4英寸、2英寸的晶圆；2、样品厚度0-0.8mm；3、光源：365nm LED紫外光固化系统；4、压印结构精度50nm；深宽比7.5:1；压印残余层厚度＜20nm；可用于斜齿光栅结构压印；对位精度：上下层对位标记几何中心偏差不超过±6um；5、自动压印、自动曝光固化、自动脱模；6、兼容基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等；兼容原始模具材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等；7、载台最高温度70℃；

仪器介绍

仪器名称紫外纳米压印机
Nano-im#### lithography machine
规格型号GL8   CLIV Gen2
仪器放置位置能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验5
仪器功能介绍1、微电子制作，MEMS/NEMS/传感器，微流体，光波管；
2、光学器件制作，虚拟现实和增强现实光波导（AR Waveguides）；
3、三维激光微纳米加工；
性能指标1、光源：365nm LED紫外光固化系统；
2、压印结构精度50nm；深宽比7.5:1；压印残余层厚度＜20nm；
3、对位精度：上下层对位标记几何中心偏差不超过±6um；
4、加工面积：200mm*200mm；
样品要求1、样品尺寸：2/4/6/8寸晶圆；
2、载台最高温度70℃；
3、基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等；
4、原始模具材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等；
仪器说明1、自动压印、自动曝光固化、自动脱模；
2、兼容工作模具张力控制单元、离线工作模具复制单元；
3、载台最高温度70℃；