基本信息

  • 生产厂商 NanoBeam Limited
  • 资产编号
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2022-01-24
  • 仪器产地英国
  • 仪器供应商NanoBeam Limited
  • 购买经办人王雅思
  • 主要配件 4寸、6寸、8寸晶圆载台，1*1cm、1.5*1.5cm、2*2cm方片载台
  • 主要参数1、加速电压：80kV； 2、曝光束流：0.6-70nA； 3、写场尺寸：100um-1000um边长的正方形区域连续可调； 4、写场拼接精度：200μ主场优于15nm，500μm主场优于20nm，800μm主场优于30nm； 5、套刻精度：200μ主场优于15nm，500μm主场优于20nm，800μm主场优于30nm； 6、最大样品尺寸：4寸、6寸、8寸晶圆或1*1cm、1.5*1.5cm、2*2cm方片，厚度小于1.5mm。

仪器介绍

（1）样品要求：大于1*1cm，厚度小于1.5mm的带有金属或刻蚀的mark标记的方片；2-8寸且带有金属或刻蚀的mark标记的晶圆。

（2）每月第二周周二上午9:00-12:00为仪器自主上机操作培训时间，请有需求的用户关注首页培训信息中或者微纳制造中心交流群中发布的通知并及时在预约系统中报名。