基本信息

  • 生产厂商 Altechna R&D立陶宛
  • 资产编号
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2022-08-30
  • 仪器产地
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数（1）激光器 ① 波长：1030nm； ② 平均功率：≥10 W@1H； ③ 重复频率：1 Hz–1 MHz可调； ④ 脉冲宽度：290 fs–10 ps可调 ⑤ 最大脉冲能量：0.4 mJ@1Hz； ⑥ 偏振性：线偏振； ⑦ 冷却系统：封闭内循环水冷。 ⑧ 自动谐振发生器，输出波长：1H:1030nm，2H：515nm，3H：257nm；输入脉冲能量：20-1000μJ；脉冲持续时间：190-300fs；转换效率：>50%（2H），>25%（3H）。 （2）位移台 ① 三维移动范围：XYZ 200 mm ×200 mm × 60 mm ② 精度：XY accuracy ± 0.4 μm， Z accuracy ± 0.275 μm. ③ XYZ轴分辨率：1nm； ④ XY轴最大速度：>200mm/s； ⑤ 最大加速度：1G； ⑥ 最大负载：2kg； ⑦ 重复定位精度：±0.15um。

仪器介绍

该仪器设备将主要应用于蓝宝石基高反射率大带宽Bragg体光栅制备；基于多光子聚合技术实现微米级蓝宝石布拉格体光栅高精度、高自由度加工；超精细微纳米结构的表面加工等。