基本信息

  • 生产厂商 Heidelberg Instruments
  • 资产编号
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2022-11-17
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商Stella International Corporation Limited
  • 购买经办人王雅思
  • 主要配件 1、激光器：波长405nm；2、4种直写写头：HiRes、4mm、10mm、40mm，分辨率分别为0.3/0.6/1/4μm；3、高精度工作台，样品定位精度10nm；4、氦氖激光干涉仪，分辨率：10 nm；5、自动聚焦系统；6、电器控制系统等。
  • 主要参数1、LED405nm光源，输出功率300mW；2、最大基板尺寸9英寸，最大写入面积200×200mm2；3、样品厚度0mm~12mm；4、最高分辨率300nm，多种分辨率0.3/0.6/1/4μm；5、最大写入速度2000mm2/min；6、正背面套刻功能，正面套刻精度0.5μm ，背面套刻精度1μm 。

仪器介绍

仪器名称
大型激光直写系统
仪器型号DWL 66+
仪器功能

1、普通光刻：百纳米/微米级图形结构、掩模版等；

2、正背面套刻；

3、灰度加工：支持0~255灰阶，三维形貌结构；

4、自动测量系统：可测量线宽，间距，线边粗糙度等

性能指标

1、最高分辨率300nm；

2、4种写头，分辨率分别为0.3/0.6/1/4μm；

3、正背面套刻功能，正面套刻精度：0.5μm，背面套刻精度：1μm；

4、最高分辨率下加工拼接精度：50nm；

5、灰度光刻：支持0~255灰阶；

6、最大基板尺寸9英寸，最大写入面积200×200mm2，最快刻写速度：2000 mm2/min；

样品要求

1、支持8英寸及向下尺寸兼容；

2、样品厚度0~12mm；