（1）获取样品的微纳米级高分辨形貌，分析材料成份和晶体取向；

（2）可进行二次电子与背散射电子任意比例混合信号叠加成像；

性能指标

（1）分辨率：二次电子成像，0.7nm@15kV/1.2nm@1kV；

（2）电子枪：热场发射电子枪；

（3）最大探针电流20nA；

（1）样品无水无油，多孔类或易潮解的样品，需进行真空干燥处理；

（2）样品最大直径应≤80mm；

（3）样品应具有导电性，若样品不导电或导电性差，则需要进行镀金、铂、碳等导电膜的处理（本平台仅提供镀铂服务）；

（4）送样测试建议提供文献图片和符合要求的图片供测试工程师参考，或详细填写测试预约表，每个区域提供3-4张不同放大倍数满足测试要求的图片，如不能满足要求，拍摄多区域图像证实样品真实情况，寄送样品质量应大于20mg。

该仪器设备配有独立的二次电子探测器（SE2和Inlens）和背散射电子探测器（EBS），可选择接受二次电子、背散射电子进行成像，也可以以任意比例混合信号进行叠加成像；

（1）每周周二9:00-12:00,14:00-17:30为委托测试时间，需要委托测试的客户请提前预约，有权限的人员预约委托需要提前跟管理员协调时间；

（2）每月第一周、第三周周二下午为自主上机培训，需提前一周在首页左下角【培训信息】中报名；