仪器配置超高真空低温腔体和扫描隧道显微镜成像及Qplus原子力显微镜成像功能。在10^-10mbar和4K至420K环境下进行样品表面原子分辨的形貌表征以及表面分子化学键成像；可测量样品表面的扫描隧道谱(STS)和非弹性扫描隧道谱(IETS)，分析样品表面电子 结构和分子振动能级；仪器配置低能电子衍射和俄歇电子能谱模块，可测量样品表面的LEED图像和俄歇电子能谱。