（1）获取样品的微纳米级高分辨形貌，分析材料成份和晶体取向；

（2）可进行二次电子与背散射电子任意比例混合信号叠加成像；

（3） 可进行能谱元素成分分析。

性能指标

（1）分辨率：二次电子成像，0.5nm@15kV/0.8nm@1kV；背散射电子成像，1.0nm@1kV；

（2）电子枪：热场发射电子枪；

（3）最大探针电流20nA；

（4）EDS可分析元素范围：B~U(可测Li单质点扫)；

（5）能量分辨率Mn/Ka 优于 127eV；

（6）溅射离子仪镀膜速率：15nm/min（Pt靶材）。

（1）样品无水无油，多孔类或易潮解的样品，需进行真空干燥处理；

（2）样品最大直径应≤80mm；

（3）样品应具有导电性，若样品不导电或导电性差，则需要进行镀金、铂、碳等导电膜的处理（本平台提供镀铂服务，需另行收费）；

（4）送样测试建议提供文献图片和符合要求的图片供测试工程师参考，或详细填写测试预约表，每个区域提供3-4张不同放大倍数满足测试要求的图片，如不能满足要求，拍摄多区域图像证实样品真实情况，寄送样品质量应大于20mg。

（1）该仪器设备配有独立的二次电子探测器（SE2和Inlens）和背散射电子探测器（EBS和 BSD1），可选择接受二次电子、背散射电子进行成像，也可以以任意比例混合信号进行叠加成像；

（2）配备X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素（包括锂单质）的定性、半定量分析；

（3）配有离子溅射仪，靶材为Pt，具有倒计时喷涂以及厚度喷涂两种模式，可监控喷涂厚度。