| 仪器名称 | 台阶膜厚仪 Automatic Stylus Profiler and Stress Measurement System |
| 规格型号 | Dektak XT-A |
| 仪器放置位置 | 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼-微纳制造中心-实验1 |
| 仪器功能介绍 | 1、釆用成熟的 LVDT 电感式传感器原理， 保证 Z 轴方向高分辨率测量， 兼顾 使用精度和可靠性。 2、自动样品台， 自动定位、 自动测量。 4、具备薄膜应力测试功能。 |
| 性能指标 | 1、垂直方向分辨率： 可达 1A ( 在 6.55pm 量程范围内）|， 2 μm 钻石材质半径探针，无防震台验收。 2、垂直方向扫描范围： 1mm。 包含有 4 个量程， 分别为 6.55μm、 65.5μm、 524μm 、1000μm。 可根据不同测量范围一键切换不同量程， 无需更换扫描头， 使用更方便， 测量更精准， 误差更小。 3、水平方向单次扫描长度范围：55mm 4、探针台阶高度重复性 :≤4A 5、可放置最大样品厚度:50mm |
样品要求 | 1、样品无强磁性。 2、样品表面无液体成分。 3、样品底部及表面相对平整，无明显的变形弯曲。 4、样品整体厚度<5cm |
| 仪器说明 | 1、Dektak XT的Vision64软件显著简化和加快操作及数据分析 2、独有的探针更换工具使得拆卸探针快捷简便 3、先进的3D形貌收集及分析选项显示了收集过程的样品实时图 4、DektakXT64位同步操作软件把3D形貌图的完成和制作时间缩短了一半 |
应力测试
台阶量测
